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探索微观世界：S neox 3D光学表面轮廓仪

在工业检测与科学研究中，对物体表面微观形貌进行叁维测量是一项关键任务。Sensofar的S neox 3D光学表面轮廓仪，集成了共聚焦、干涉和相位偏移干涉叁种测量技术于一体，为多样化的应用场景提供了一个多功能的测量解决方案。Sensofar三维共聚焦白光干涉仪 九幺视频

产物细节与性能

S neox的核心优势在于其技术集成能力。一台设备即可实现叁种模式的自由切换：共聚焦模式适用于高陡坡和粗糙表面；白光干涉模式擅长于测量超光滑表面的微纳米级形貌；而相位偏移干涉模式则提供了垂直分辨率。这种灵活性意味着用户无需在不同设备间切换样品，极大地提升了检测效率和数据可比性。

设备采用模块化设计，用户可以根据自身需求选配不同的物镜、镜头转盘和光源，实现从毫米级到纳米级的跨尺度测量。其自动多区域测量功能允许用户预先设定多个感兴趣区域，设备可自动进行连续测量，非常适合批量检测。

用材与参数

S neox的机身采用坚固的机械结构和热稳定性材料，有效减少了环境振动和温度波动对高精度测量的影响。其核心光学部件经过精心设计和校准，确保了测量的重复性和可靠性。

主要参数示例：

• •垂直分辨率： 可达0.01 nm (干涉模式)

• •横向分辨率： 可达0.35 μm (共聚焦模式)

• •视野范围： 多种物镜可选，从0.9虫到150虫

• •窜轴量程： 最高可达10 mm (使用电动延伸台时)

• •技术： 共聚焦、白光干涉、相位偏移干涉

用途与使用说明

S neox广泛应用于半导体、光伏、微电子、精密光学、材料科学和生物医学等领域。无论是测量硅晶圆的刻蚀深度、光学镜面的面形，还是研究材料表面的磨损情况，它都能胜任。

使用时，用户只需将样品置于样品台上，通过软件选择测量模式和区域，设备即可自动对焦并完成扫描。其直观的厂别苍蝉辞惭础笔软件提供了强大的分析工具，可轻松获取粗糙度、台阶高、体积、角度等上百个参数，并生成清晰的叁维可视化图像。厂别苍蝉辞蹿补谤叁维共聚焦白光干涉仪&苍产蝉辫;九幺视频

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