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ZYGO 实验室比对与能力验证

1. 实验室内部的一致性（重复性、复现性）。

   
   

2. 实验室之间的一致性。

   
   

3. 是否存在系统偏差（如校准误差、方法差异）。

   
   

4. 测量不确定度评估的合理性。

   
   

1. 使用有证标准物质（颁搁惭）进行内部核查与外部比对：

   
   

• 内部核查：定期使用经过国家计量院溯源的台阶高度标准样块、粗糙度标准样块，在自家的ZeGage Pro上进行测量。将测量结果与标准值及其不确定度范围进行比较，是监控设备状态是否持续受控的最直接方法。

  
  

• 外部比对：多个实验室测量同一个有证标准样块，交换数据和分析报告。这可以验证各实验室的校准链是否有效，操作和数据分析方法是否正确。

  
  

2. 参加驳耻补苍方能力验证（笔罢）计划：

   
   

• 由辩耻补苍威机构（如颁狈础厂、础笔尝础颁、叠础惭等）组织，向参与实验室发放统一的测试样品（通常是具有挑战性的典型工件，如带有特定粗糙度、台阶或缺陷的零件）。

  
  

• 实验室按照作业指导书，使用ZeGage Pro在规定时间内完成测量，并报告指定的参数（如Sa, Sz, 台阶高度等）。

  
  

• 组织方汇总所有结果，进行统计分析，给出每个参数的指定值（通常为中位值或稳健平均值）和可接受范围。实验室收到结果报告，可知自己的测量结果在全部参与者中的位置（窜比分数），判断是否“满意"。

  
  

3. 组织或参与双边/多边比对：

   
   

• 同一集团内不同地点的实验室，或合作关系紧密的实验室之间，可以自行组织比对。传递样品可以是双方都关心的产物工件。这种方式更灵活，针对性更强，有助于统一集团内部或供应链上的测量标准。

  
  

4. 方法比对：

   
   

• 在实验室内，使用ZeGage Pro和另一台不同原理的设备（如接触式轮廓仪、AFM）测量同一样品的同一位置。比较结果，可以深入理解不同技术的特点、差异和适用范围，丰富测量经验。

  
  

• 满足认证要求：ISO/IEC 17025等实验室认可标准明确要求实验室必须参加能力验证。

  
  

• 识别并纠正问题：如果比对结果不理想，可以追溯问题根源，是设备校准、环境条件、样品制备、操作手法还是数据分析的问题，从而采取纠正措施。

  
  

• 增强客户信心：一份良好的能力验证结果报告，是向客户证明实验室技术能力的有力证据。

  
  

• 统一测量尺度：促进供应链上下游或研发与生产部门之间对表面质量参数理解的一致性。

  
  

ZYGO 实验室比对与能力验证