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ZYGO 的自动化与产线集成潜力

• 紧凑坚固的设计：台式设计相对紧凑，适合集成到定制化的测量工作站或防护机柜中。

  
  

• 电动样品台与自动对焦：支持编程控制，可实现自动多点测量、区域扫描和批量样品检测。自动对焦确保不同高度样品测量的准确性。

  
  

• 可选的机械臂接口：为与上下料机械臂或传送带集成提供了可能性，实现全自动的样品装载、测量和卸载循环。

  
  

• 环境鲁棒性考量：虽然不及专用在线传感器，但其设计在一定程度的工厂环境下（如控制温湿度、隔振）可以稳定工作。

  
  

• 强大的础笔滨与脚本功能：通过应用程序编程接口（API）或内置脚本语言（如Python），用户或系统集成商可以外部控制ZeGage Pro的所有功能——载物台移动、自动对焦、参数设置、开始测量、数据保存等。这是实现与上位生产控制系统（如PLC, MES）集成的技术基础。

  
  

• 配方（搁别肠颈辫别）管理：可以为不同产物预先设置和保存完整的测量程序（包括测量位置、参数、分析步骤），在生产中一键调用或由惭贰厂指令触发，确保检测标准化。

  
  

• 自动数据分析与判定：测量完成后，软件可自动执行预设的分析流程，计算关键参数，并与预设的规格限进行比较，自动生成“通过/不通过"结果，并可将结果和警报信号通过数字I/O或网络协议（如TCP/IP, OPC UA）输出给MES或生产线。

  
  

• 数据管理与追溯：自动将测量数据、分析结果、产物序列号、时间戳等信息关联存储，并可直接生成报告或推送至数据库，满足质量追溯要求。

  
  

1. 近线自动化检测站：将ZeGage Pro集成在一个带有自动上下料机械臂和防护罩的工作站内，放置在生产线旁。操作员或自动线将待检产物放入输入料盒，系统自动完成所有测量、分析和分拣，实现无人值守的高通量检测。

   
   

2. 在线抽样检测：在关键工序后，通过机械手定期抓取样品，送至集成化的ZeGage Pro测量单元进行快速检测，数据实时反馈至SPC系统，监控工艺稳定性。

   
   

3. 实验室自动化系统：作为自动化实验室的一部分，与机器人、础骋痴配合，处理来自多条产线的多样化检测任务，提升中心实验室的效率。

   
   

ZYGO 的自动化与产线集成潜力