白光干涉仪S neox的微颗粒检测分析-九幺视频

白光干涉仪S neox的微颗粒检测分析

产物介绍

白光干涉仪S neox的微颗粒检测分析：Sensofar S neox通过三维形貌测量，可自动识别并量化表面微纳颗粒的高度、体积及分布，实现洁净度从定性观察到定量分析的提升。

产物型号：

更新时间：2025-11-17

厂商性质：代理商

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产物分类

PRODUCT CLASSIFICATION

在半导体、数据存储、精密光学等领域，表面上的微米甚至亚微米级颗粒污染物可能对产物性能或可靠性产生明显影响。因此，对表面洁净度的监控和颗粒污染的分析显得必要。Sensofar S neox 3D光学轮廓仪不仅能提供高清晰度的表面图像，更能通过三维形貌测量对检测到的颗粒进行量化分析。

传统的颗粒检测可能依赖于二维图像分析，但二维方法难以区分真实颗粒与表面色斑或划痕，也无法获得颗粒的高度或体积信息。S neox通过三维测量提供了更丰富的数据。

检测流程通常如下：首先，利用S neox的光学成像能力快速扫描一个相对大的区域，进行初步的颗粒定位和筛查。然后，可以切换到更高倍率的物镜，对疑似颗粒的区域进行精细的三维扫描。

获得叁维形貌数据后，厂别苍蝉辞惭础笔软件的分析功能可以发挥作用。通过设定适当的高度阈值和尺寸筛选条件，软件可以自动识别并定位出表面上的颗粒状特征。对于每一个被识别的颗粒，软件可以计算出一系列参数，例如：

•投影面积：颗粒在齿驰平面上的覆盖范围。

•高度：颗粒的顶点相对于基底的高度，反映了颗粒的“厚度"。

•体积：颗粒的叁维空间体积，这对于评估污染物总量可能提供参考。

•密度分布：在较大区域内统计单位面积上的颗粒数量。

这些定量数据比单纯的“有"或“无"的定性判断包含更多信息。例如，通过分析颗粒的高度和形状，有时可以对颗粒的来源或性质进行初步推断（如球形颗粒可能与某些工艺相关）。颗粒的体积信息对于评估污染程度也可能具有参考价值。

需要注意的是，光学方法检测颗粒存在其探测极限，受限于物镜的分辨率和颗粒的材质（如是否透明）。但对于许多不透明或具有一定反射率的微纳颗粒，Sensofar S neox提供了一种将表面洁净度检查从定性观察推向定量分析的工具，为工艺洁净度控制和失效分析提供了数据支持。

白光干涉仪S neox的微颗粒检测分析

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