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白光干涉仪S neox的台阶高度测量

在微电子、MEMS、材料涂层等领域，精确测量薄膜厚度、刻蚀深度、阶梯高度等是常见的计量需求。这些测量本质上都是台阶高度测量，即精确量化表面两个不同区域之间的垂直距离。台阶高度测量对垂直方向的分辨率和准确性提出了要求。Sensofar S neox 3D光学轮廓仪的白光干涉模式在这方面能发挥其作用。

白光干涉仪测量台阶高度的原理基于其垂直扫描特性。当仪器进行窜向扫描时，它会记录下每一像素点干涉条纹对比度最高的位置，该位置对应于此点的高度信息。对于一个理想的台阶，在台阶的上表面和下表面，干涉极大值会出现在不同的窜轴位置，这两个位置之差即为台阶高度。

S neox进行台阶高度测量的优势包括：

1.非接触：避免了对柔软、脆弱样品表面的潜在损伤。

2.高垂直分辨率：白光干涉模式能够实现亚纳米级别的垂直分辨率，适合测量从纳米到数百微米范围的台阶高度

3.快速：一次扫描即可获得整个视场内的叁维形貌，从而可以同时测量视场内多个台阶的高度，或对一个台阶进行多次测量取平均值，提高统计可靠性。

4.直观：叁维形貌图可以直观显示台阶的形状、陡直度以及底部的平整度等情况，而不仅仅是单个高度值。

测量时，用户通常先使用低倍物镜定位待测台阶，然后切换至合适倍率的物镜，确保台阶清晰地位于视场中。启动测量后，仪器自动完成扫描。在数据分析阶段，用户可以在叁维形貌图上轻松划定台阶的上表面和下表面区域，软件会自动计算这些区域的平均高度差，并给出统计结果（如平均值、标准差）。用户也可以绘制截面轮廓线，直接在线条上测量高度差。

为了获得准确的测量结果，需要注意样品的放置（尽量使表面水平）、选择合适的扫描范围以及确保台阶边缘清晰可辨。对于高深宽比的台阶，可能需要高倍物镜来获得更清晰的边缘信息。S neox提供的多种物镜选择和自动校准功能，有助于满足不同尺寸台阶的测量需求。

因此，Sensofar S neox为微米和纳米尺度的台阶高度测量提供了一种高效、直观且能提供丰富周边信息的解决方案，适用于工艺流程控制和研发分析。

白光干涉仪S neox的台阶高度测量