半导体检测助力者窜测驳辞激光干涉光学轮廓仪
在半导体行业,芯片表面电路的细微缺陷可能影响产物性能,Zygo 3D 光学轮廓仪 NewView™ 9000 凭借对微观形貌的精准捕捉能力,成为半导体检测环节的可靠助力。
产物细节上,NewView™ 9000 针对半导体样本检测做了贴心设计。它配备的专用半导体样本夹具,能牢固固定不同尺寸的晶圆,避免检测时晶圆移位。设备的光学系统可精准聚焦到芯片上的微小电路区域,搭配高清成像功能,工作人员能清晰看到电路线条的边缘形态。操作面板上设有半导体检测常用的快捷模式,一键即可调用适配的检测参数,减少重复设置步骤。
性能方面,该设备采用的非接触式检测方式,不会对晶圆表面的脆弱电路造成损伤,适合半导体行业对样本保护的高要求。在检测精度上,能捕捉到纳米级的电路高度差与线宽偏差,帮助工作人员及时发现电路制造中的细微问题。同时,设备的检测流程可自动化运行,批量检测晶圆时能保持数据的一致性,提升半导体生产中的检测效率。
用材上,NewView™ 9000 的主体框架选用抗磁干扰的合金材料,避免半导体车间的电磁环境影响检测精度。光学部件采用耐磨损的特种玻璃,长期接触半导体生产中的洁净环境,也能保持稳定的光学性能,减少部件更换频率。
以下是 Zygo 3D 光学轮廓仪 NewView™ 9000 的部分参数表:
用途上,除了半导体晶圆检测,它还可用于半导体封装环节的引脚高度检测、封装胶体表面平整度分析等。在芯片研发阶段,能辅助工程师观察新电路设计的实际成型效果,为优化设计方案提供数据参考。
使用时,先将设备置于半导体洁净车间的防震工作台上,连接专用电源与控制电脑。安装半导体样本夹具,将晶圆平稳固定,通过软件调整样本台位置,使待检测区域对准光学镜头。选择 “半导体检测模式",根据晶圆规格设置检测范围与分辨率,启动检测后,设备会自动采集数据并生成三维图像与缺陷分析报告。检测结束后,关闭软件与电源,用洁净的专用擦拭布清洁样本台和镜头,妥善收纳夹具。
半导体检测助力者窜测驳辞激光干涉光学轮廓仪