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厂别苍蝉辞蹿补谤光学轮廓仪在光学元件制造中的应用Sensofar光学轮廓仪智能化检测与分析系统Sensofar?S?neox 将共聚焦显微、白光干涉和多焦面叠加三大技术融合在同一平台，实现从超光滑到粗糙表面的全场景测量。
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厂别苍蝉辞蹿补谤光学轮廓仪在光学元件制造中的应用
Sensofar?S?neox 将共聚焦显微、白光干涉和多焦面叠加三大技术融合在同一平台，实现从超光滑到粗糙表面的全场景测量。仪器采用无运动部件的微显示（FLCOS）扫描引擎，保证高速、稳定的光路切换。核心光学部件包括高数值孔径（NA?0.95）共聚焦物镜和可变倍率白光干涉光路，横向分辨率可达?0.10?µm，纵向分辨率在?0.1?nm 量级。系统配备 500 万像素 CMOS 相机，数据传输速率 180?fps，单次扫描时间可低至?3?秒。
在光学元件制造中，S neox通过白光干涉模式实现透镜曲率半径与面型误差的高精度检测。例如，在光学镜片制造中，设备可测量PV值并识别偏差区域，自动标记并生成分析报告。在棱镜与反射镜检测中，S neox支持偏光等特种物镜适配，满足不同角度与偏振状态的检测需求。在薄膜厚度测量方面，设备可实现5nm-100μm无损检测，配合偏振编码技术分离上下表面信号，保障OLED、AR镀膜等高精度光学元件的质量控制。软件内置光学元件专用分析模块，支持曲率半径、PV值、表面粗糙度等多参数自动计算，并生成符合行业标准的检测报告。设备还支持时间序列扫描功能，可追踪光学元件在制造过程中的性能变化，为工艺优化提供数据支持。
Sensofar?S?neox 通过技术融合、模块化设计和强大的软件平台，为科研与工业用户提供了从纳米级纵向分辨率到宏观视场的完整测量解决方案。其高分辨率、宽斜率适应性和高速扫描能力，使其在半导体、光学、材料科学和生物医学等领域具备广泛的适用性，能够显著提升检测效率和产物质量。
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