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ZYGO 3D光学轮廓仪的使用与维护要点正确的操作和定期的维护是保证ZeGage Pro长期稳定运行和测量数据可靠性的重要环节。
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正确的操作和定期的维护是保证ZeGage Pro长期稳定运行和测量数据可靠性的重要环节。
使用环境要求:&苍产蝉辫;仪器应放置在清洁、干燥、无腐蚀性气体的环境中。工作台需要稳固,以尽可能减少振动。环境温度应保持稳定,避免阳光直射和空调出风口的直接吹拂,剧烈的温度波动会影响测量的稳定性。
开机与准备:&苍产蝉辫;开机前,检查电源线和网线连接是否牢固。开机后,系统会进行自检,建议预热一段时间(如30分钟),让光学系统和光源达到稳定状态。每次测量前,检查样品台是否清洁,样品是否固定稳妥。

测量流程简述:
放置样品:&苍产蝉辫;轻拿轻放,避免碰撞物镜和样品台。
软件操作:&苍产蝉辫;打开惭别迟谤辞笔谤辞软件,连接仪器。使用实时视频找到待测区域。
选择物镜:&苍产蝉辫;根据所需视野和分辨率,通过软件切换合适的物镜。
调整光强:&苍产蝉辫;使用软件的自动或手动光强调节功能,确保干涉条纹清晰且信号强度适中。
设置参数:&苍产蝉辫;设置扫描长度和采样间隔。对于不熟悉的样品,可先使用自动扫描功能。
开始测量:&苍产蝉辫;点击开始,仪器将自动完成扫描。测量过程中应避免触碰工作台。
数据分析:&苍产蝉辫;测量完成后,在软件中使用相应的工具进行处理和分析,并保存数据和报告。
日常维护:
清洁:&苍产蝉辫;定期用软毛刷或吹气球清除样品台和仪器外部的灰尘。物镜镜片是精密光学部件,如有污染,需使用专用的镜头纸和清洁剂,按照规范轻轻擦拭。
校准:&苍产蝉辫;为保证测量精度,建议按照厂家推荐的周期,使用标准参考件(如阶梯高度标准板)对仪器进行垂直标定和横向标定。
存放:&苍产蝉辫;长期不使用时,应盖上防尘罩,并将仪器存放在符合环境要求的地方。
遵循这些操作和维护指南,可以有效延长ZeGage Pro的使用寿命,并确保其始终处于合适的工作状态

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