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光源与探测器： ZeGage Pro使用LED作为照明光源。LED光源具有寿命长、发热量低、稳定性好的特点，有助于保证长期测量的重复性。探测器则是一台高分辨率的CMOS相机，负责捕捉干涉条纹图像。相机的像素数量决定了单次测量视野内的横向数据点密度，影响着测量的横向分辨能力。

物镜与转盘：&苍产蝉辫;仪器配备了一个可自动切换的物镜转盘。用户可以根据测量需求选择不同放大倍率的物镜，例如2.5虫、5虫、10虫、20虫等。低倍物镜提供较大的视野，用于观测整体形貌；高倍物镜则提供较小的视野和更高的横向分辨率，用于观察表面细节。物镜的接口为标准设计，具有良好的通用性。

样品台与机械结构： 样品台用于承载和定位样品。ZeGage Pro可配置不同尺寸和承载能力的样品台。样品台在X、Y方向的移动通常由电机驱动，可以实现自动定位和多点测量。导轨和丝杠等机械部件采用了一定的工艺标准，以确保运动的平直度和定位的重复性。

集成式计算单元：&苍产蝉辫;仪器内部集成了一台工业计算机，负责控制硬件运行和进行初步的数据处理。这种一体化的设计简化了外部连接，用户只需通过一根网线将仪器与办公电脑连接，即可进行远程控制和数据传输，减少了外部电脑性能波动对测量系统可能产生的影响。