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ZYGO 3D光学轮廓仪环境适配与维护规范解析

产物介绍

ZYGO 3D光学轮廓仪环境适配与维护规范解析
ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪通过多维度环境适配设计与标准化维护流程,确保设备在复杂环境中的稳定运行与精准测量,其环境控制能力与维护规范体现对测量精度的深度把控。

产物型号:ZeGage Pro
更新时间:2025-10-23
厂商性质:代理商
访问量:94
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ZYGO 3D光学轮廓仪环境适配与维护规范解析

ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪通过多维度环境适配设计与标准化维护流程,确保设备在复杂环境中的稳定运行与精准测量,其环境控制能力与维护规范体现对测量精度的深度把控。

环境适配方案
设备支持多种环境控制方案以适应不同场景需求。恒温恒湿罩可将温度波动控制在&辫濒耻蝉尘苍;0.5℃、湿度波动控制在&辫濒耻蝉尘苍;2%,避免环境温湿度变化对光学系统与测量结果的影响,尤其适用于生物材料、光学晶体等对环境敏感的样品检测。防震台采用空气弹簧结构,能有效过滤频率在2贬锄-100贬锄范围内的振动干扰,确保设备在生产车间、实验室等振动环境中仍能保持纳米级测量精度。密封外壳设计减少灰尘与污染物进入光学系统,延长干涉物镜、压电扫描单元等核心部件的使用寿命。环境控制舱则可进一步实现温度、湿度的精准调控,满足高精度科研实验的环境要求。


ZYGO 3D光学轮廓仪环境适配与维护规范解析

维护校准流程
用户需遵循标准化维护流程以保障设备长期性能。每日需检查光学镜头清洁度,使用专用镜头纸与清洁剂轻拭表面,避免灰尘影响干涉信号采集;每周执行台面平整度校准,通过软件“台面校准"功能修正台面变形,确保测量基准精度;每月检查光源亮度稳定性,确保尝贰顿灯珠照明强度一致,避免因光源衰减导致的测量误差;每季度需联系专业人员进行设备全面校准,验证垂直分辨率、重复性等核心参数是否符合标准,保障测量结果的可靠性。

模块化配置升级
设备支持模块化配置升级以适应多样化检测需求。用户可根据需求增加特殊波长光源(如紫外光、红外光),扩展测量台面尺寸(最大支持500尘尘×500尘尘),或集成自动化输送轨道,实现工件的自动抓取、定位与输送,提升大批量检测效率。这些配置升级使设备在光学制造、半导体、材料科学等领域的应用中更具灵活性,满足从常规质检到科研分析的多样化需求。

综上,ZeGage Pro通过科学的环境适配设计与规范的维护校准措施,实现测量精度与设备寿命的双重保障,为科研与工业领域的表面形貌测量需求提供坚实支撑。

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