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基恩士 VK?X3000 激光共聚焦显微镜概览

基恩士 VK?X3000 是面向材料形貌与尺寸测量的激光共聚焦显微系统。该仪器采用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化三种扫描原理，可根据样品的材质、形状和测量范围灵活切换，实现 42?28800 倍的放大范围，无需手动对焦。

产物细节

• 光源：激光（波长 ≤?405?苍尘，寿命 ≥?1?万小时）+ 白光 LED（寿命 ≥?3?万小时），满足高功率、长寿命需求。

• 光学系统：双共焦针孔、远心镜头设计，确保整体测量精度；配备 292 种分析工具，可实现高度、尺寸、粗糙度等多维度测量。

• 扫描性能：面扫描最高 125?Hz，线扫描最高 7900?Hz，支持高速 3D 形貌获取。分辨率可达 0.01?nm，重复性 1?σ ≤?12?苍尘（高度）/40?nm（宽度）。

• 检测器：光电倍增管 16?bit，具备高灵敏度光电探测能力。

主要参数表

适用领域

• 半导体器件叁维形貌与尺寸检测

• 微电子封装结构分析

• 高分子材料表面粗糙度测量

• 生物医学样本的形态学观察

使用说明要点

1. 样品准备：确保样品表面清洁、平整；对透明或高反射样品可选用白光干涉模式。

2. 模式选择：在软件界面选择激光共聚焦、白光干涉或聚焦变化；系统会自动匹配对应光学路径。

3. 参数设定：设定扫描范围、分辨率、帧数；推荐先使用低分辨率预扫描定位感兴趣区域。

4. 自动聚焦：系统具备自动聚焦功能，启动后可在数秒内完成对样品的最佳焦点定位。

5. 数据导出：测量结果可导出为 CSV、TXT、DXF 等通用格式，便于后续统计与 CAD 处理。