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PRODUCTS CNTERSensofar S neox:多模式测量平台Sensofar S neox 3D光学轮廓仪的设计理念是集成与灵活。它并非单一技术仪器,而是一个将共聚焦成像、白光干涉(VSI)和相移干涉(PSI)三种核心技术融于一身的多模式测量平台.
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Sensofar S neox 3D光学轮廓仪的设计理念是集成与灵活。它并非单一技术仪器,而是一个将共聚焦成像、白光干涉(VSI)和相移干涉(PSI)三种核心技术融于一身的多模式测量平台。
这种多模式能力意味着用户在面对不同特性的样品时,无需更换设备即可完成测量。例如,测量一个既有光滑区域又有粗糙区域的复合样品时,可以先使用共聚焦模式扫描粗糙部分,再切换至白光干涉模式测量光滑区域的纳米级细节。仪器软件可智能辅助模式选择,甚至支持在同一测量区域内自动切换模式,确保每个区域都能用最合适的技术进行采集,从而获得完整且准确的叁维形貌数据。
S neox在机械结构上注重稳定性,采用 rigid 的设计和材料以减少环境干扰。其自动物镜转盘可容纳多达5个物镜,实现从大视场导航到高分辨率细节测量的无缝切换,倍率范围可从2.5X覆盖至100X甚至更高。
在性能方面,其共聚焦模式能有效处理高斜率和低反射率表面,而白光干涉模式则提供了亚纳米级的垂直分辨率,适用于超光滑表面的精密检测。
用途广泛:
微电子:&苍产蝉辫;测量惭贰惭厂器件、硅片凸点、薄膜台阶。
*材料:&苍产蝉辫;分析涂层、复合材料、粗糙表面的3顿纹理。
精密光学:&苍产蝉辫;检测非球面、自由曲面镜子的面形和粗糙度。
使用说明:&苍产蝉辫;用户通过软件选择测量区域和所需的技术模式,设置扫描参数后,仪器可自动完成对焦、扫描和数据分析。高级的图像拼接功能允许将多个视场的数据合并,创建大面积的高分辨率叁维图像。
对于研发实验室或需要应对多种类、多要求样品的质量控制部门,S neox的多功能性和灵活性提供了一个较为全面的解决方案。
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