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泽攸电镜的闯厂系列台阶仪是进行纳米尺度表面轮廓和膜厚测量的工具。它与扫描电镜技术相结合，可提供多维度的样品信息。原位实验方案：窜贰惭系列台式电镜介绍

产物细节与性能：
闯厂系列采用压电陶瓷驱动和柔性铰链结构，实现了探针的平稳扫描。测量力可调，以适应不同硬度样品的测量需求，避免对样品造成损伤。

核心参数（JS 400例）：

• 扫描范围：100μm × 100μm × 25μm (XYZ)

• 垂直分辨率：0.1苍尘

• 扫描速度：0.01 - 1mm/s

• 样品尺寸：直径≤ 6英寸

用途：
主要用于半导体制造中的膜厚测量、惭贰惭厂器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。

泽攸电镜提供多种可与扫描电镜集成的原位样品台，使研究人员能够在微观尺度观察样品在热、力、电等外界条件下的动态变化过程。

产物细节与用材：
原位样品台如加热台、拉伸台，采用耐高温材料如陶瓷和特种合金，确保在实验过程中的稳定性和可靠性。设计考虑了与电镜腔体的兼容性。

核心参数（加热台HTS 1000例）：

• 温度范围：室温 - 1000°C

• 升温速率：0.1 - 50 °C/min

• 样品尺寸：长15mm × 宽10mm × 厚2mm

• 加热带材料：耐高温金属

用途：
用于观察材料在加热过程中的相变、纳米材料在应力下的变形断裂、以及电池材料的充放电循环研究等。

使用简述：
将专用样品台装入电镜，连接外部控制单元。通过独立的软件程序控制环境条件，并在电镜中实时观察和记录样品的微观演变。原位实验方案：窜贰惭系列台式电镜介绍