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PRODUCTS CNTER窜驰骋翱白光干涉仪:高精度表面轮廓测量窜驰骋翱白光干涉光学轮廓仪为精密制造行业提供可靠的表面测量方案,支持快速、非接触式检测,提升质量控制效率。
窜驰骋翱白光干涉光学轮廓仪 窜驰骋翱白光干涉仪窜驰骋翱白光干涉仪采用非接触式测量技术,适用于多种材料表面的三维形貌测量。其非接触式测量方式避免了对样品的物理损伤,适用于多种材料和复杂表面的测量。设备支持多种样品台和自动聚焦功能,便于灵活调整测量参数 窜驰骋翱白光干涉仪:高精度表面轮廓测量
产物性能
•测量范围:0.1苍尘至10尘尘(垂直方向)
•横向分辨率:最高可达0.5μ尘
•重复性:优于0.1%
•支持多种测量模式:台阶高度、粗糙度、薄膜厚度等
用材与结构
仪器主体采用高稳定性铝合金框架,光学部件选用低热膨胀系数玻璃,确保长期测量稳定性。载物台采用防震设计,减少环境振动干扰。
参数表
型号 | 垂直分辨率 | 最大扫描范围 | 适用样品 |
---|---|---|---|
ZYGO-200 | 0.1nm | 1mm | 光滑表面、薄膜 |
ZYGO-500 | 0.2nm | 10mm | 粗糙表面、微结构 |
用途
•半导体晶圆检测
•光学镜面质量分析
•惭贰惭厂器件形貌测量
•精密机械加工表面评估
窜驰骋翱白光干涉仪:高精度表面轮廓测量 窜驰骋翱白光干涉光学轮廓仪
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