Sensofar S neox 共聚焦白光干涉光学轮廓仪的操作设计,充分兼顾了新手易用性与专业需求。其核心操作载体 SensoSCAN 软件采用直观界面布局,左侧功能栏清晰划分测量模式选择、参数设置等模块,右侧实时成像区域可同步显示样品状态,底部状态栏则实时更新扫描进度与存储路径,让操作过程全程可视。
导航预览功能大幅降低定位难度,正式测量前点击预览,设备自动生成低倍全景图,用户框选目标区域后,软件会自动调整镜头位置对准测量点,更换 2.5x 至 100x 物镜时,预览图还能同步显示视场范围,避免测量点丢失。测量模式可灵活切换,共聚焦、相位差干涉等四种模式覆盖不同样品特性,每种模式均有默认参数,新手可直接使用,专业用户也能手动调整扫描范围等参数,且调整过程实时预览效果。

硬件操作同样便捷,电动样品台通过软件操纵杆即可实现 XYZ 轴移动,移动精度达微米级,20kg 的承重能力适配多种尺寸样品,两侧可调节夹具能稳固固定工件。镜头采用卡扣式设计,旋转即可完成装卸,软件还会自动识别镜头型号并匹配参数。批量检测时增配 SensoPRO LT 软件,预设程序后可实现全自动测量,支持插件式扩展行业专用模块,进一步提升效率。
S neox 通过融合多种光学测量技术,实现了从光滑到粗糙表面的全范围检测。其核心技术包含白光干涉(CSI)与相位移干涉(PSI),前者基于白光短相干特性,分光镜将光源分为参考光与测量光,反射后合并产生干涉条纹,系统通过垂直扫描捕捉信号重建形貌,纵向分辨率达 0.1nm,横向分辨率 0.16μm。后者通过压电陶瓷驱动参考镜实现相位移动,采集多幅图样提取高度信息,适配超光滑表面测量需求。
设备还集成共聚焦与 Ai 多焦面叠加技术,点击即可自动切换适配技术。多焦面叠加技术单次扫描深度达 8mm,支持 86° 斜率粗糙表面测量,适用于模具等复杂结构检测。核心光学部件采用低色散光学玻璃,经多层增透膜处理提升透光率,镜头镜筒选用不锈钢材质,抵抗温度形变保障同轴度。量子点增强型 CMOS 传感器在 180 帧 / 秒高速采集下,仍能保持 0.12μm 横向分辨率,可监测动态过程。
实时环境补偿算法(REC)让设备在振动幅度超 100nm 的普通环境中稳定工作,无需专用光学平台。RGB 三色 LED 实现真色彩还原,同步获取形貌、膜厚与折射率数据,减少多次测量误差。无运动部件的微显示器扫描共聚焦设计,进一步消除振动干扰,提升系统稳定性。