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技术文章
TECHNICAL ARTICLES将结构光以一定角度投射到样本上,用相机接收反射光。投射到某个表面上时,投射光型改变,因此,通过确定条纹图形与高度变化之间的相互关系,我们就可获得 3D 图像。
光学方案
为了在现场样本上获得均匀、聚焦且等距的条纹投影,Scheimpflug 配置与双远心镜头一起使用。不管物体在视场中的距离或位置如何,均有恒定的放大倍率,是测量用途的理想之选。
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垂直精度高的大区域 而且 可重复性高 (σ = 0.01 µm),系统噪声 低至 0.5 µm
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