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厂别苍蝉辞蹿补谤共聚焦白光干涉仪触多焦面迭加

主动照明多焦面叠加是一种为了测量粗糙的表面形状而开发的光学技术。这项技术基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 测量领域的广泛专业知识，专门设计用于补充低放大率下的测量

BACKGROUND

厂别苍蝉辞蹿补谤共聚焦白光干涉仪触多焦面迭加原理

主动照明多焦面迭加技术利用了明场中存在景深的特点，

样品只有在的特定 z 范围中对焦。 景深会根据物镜的数值孔径或光源波长而变化。

Z 高度的值是根据图像的高对比度（清晰度或微小细节）来计算的

从而得出正确的对焦位置。